半導体超格子の紹介

半導体超格子の紹介

半導体超格子とは、複数層の薄膜が繰り返し配列された単結晶をいう。 多層膜の各層の厚さは、数原子層から数十原子層の範囲である。 バンドギャップおよびドーピングレベルなどの各層の主要な半導体特性は、独立して制御することができる。 多層膜の周期は成長中に人為的に制御することができ、人工的な結晶構造、すなわち超格子が得られる。 多層膜の各層の成分が変化した超格子は、成分変調超格子と呼ばれる。 ドープ原子タイプを有する各層の超格子は、ドープ変調超格子と呼ばれる。